Прибор для бесконтактных измерений микроструктуры поверхности - Talysurf CCI применяется для бесконтактного измерения широкого круга поверхностей – от «сверхгладких», с высотами неровностей на уровне ангстрема, до поверхностей после стандартных видов обработки (высоты неровностей профиля до 400 мкм). Соответственно область применения приборов довольно широка, и прибор может быть сконфигурирован в зависимости от поставленной задачи.
Профилометр модели CCI, созданный с учетом опыта исследователей и ученых, соответствует самым жестким требованиям к измерению, в том числе и в таких быстро развивающихся отраслях, как солнечная энергетика, оптика и медтехника. В сочетании с мощным ПО для анализа размеров и шероховатости он представляет собой идеальный контрольный инструмент практически для любой области применения.
Многие пользователи обращаются к прибору Talysurf CCI для решения проблем измерения, с которыми просто не могут справиться другие приборы. В то же время при своем исключительном диапазоне, разрешении и простоте в эксплуатации данный профилометр идеально подходит для исследований и контроля качества обработки самых различных деталей из различных материалов.
Особенности и преимущества
Безупречная оптическая интерферометрия
Практически полное отсутствие погрешностей измерения
Оптический анализ поверхностей
Теперь, когда появились 64-разрядные процессоры, управляющее программное обеспечение CCI стало более гибким, быстрым и эффективным в целом. Поддержка всех основных платформ дает возможность совместно вести исследовательские проекты и разрабатывать усовершенствованные приложения.
Программное обеспечение TalyMap нового поколения полностью соответствует недавно разработанному 3D-стандарту ISO 25178 и гарантирует единство измерений и оценки. В числе новых функций анализа – четырехмерный анализ эволюции трехмерных изображений с изменением времени, давления и других физических параметров.
Помимо функции создания фотореалистичных полноцветных изображений в программе TalyMap имеются средства повышения производительности (например, шаблоны повторяющихся задач и возможность автоматически генерировать отчеты по пакетам данных измерений).
Для системы Talysurf CCI существуют самые разные объективы. Выбор зависит от области применения.
Программные модули и параметры анализа
2-мерные параметры |
|
Основные (без фильтрации) |
Pa, Pc, Pdc, Pdq, PHSC*,PHtp, Pku, Plo, Plq, Pmr*, Pp, PPc*, Pq, Prms, Psk, PSm,Pt, Ptp, Pv, Py, Pz, Pz(JIS), P3z, Pfd, Pda, Pla, PH, PD, PS,Pvo |
Волнистость (с фильтрацией) |
Wa, Wc, Wdc*, Wdq,WHSC*, WHtp, Wku, Wlo, Wlq, Wmr*, Wp, WPc*, Wq,Wrms, Wsk, WSm, Wt, Wtm, Wtp, Wv, Wy, Wz, Wz(JIS),W3z, Wda, Wla, Wmax, WH, WD, WS, Wvo |
Шероховатость (с фильтрацией) |
Ra, Rc, Rdc*, Rdq,RHSC*, RHtp, Rku, Rlo, Rlq, Rmr*, Rp, RPc*, Rq, Rrms,Rsk, RSm, Rt, Rtm, Rtp, Rv, Ry, Rz, Rz(JIS), R3z, Rfd, Rda,Rla, Rmax, RH, RD, RS, Rvo |
Rk (DIN 4776, ISO 13565-2) |
A1, A2, Mr1, Mr2, Rk, Rpk, Rvk, Rpk*, Rvk* |
R&W (ISO 12085) |
AR, AW, HTrc, Pt, R, Rke, Rpke, Rvke, Rx, Trc, W, Wte, Wx,Kr, Nr, SR, SAR, Kw, Nw, SW, SAW |
Прямолинейность (ISO 12780) |
STRt, STRp, STRv, STRq |
3-мерные параметры |
|
Амплитуда |
Sa, Sq, Sp, Sv, St, Ssk, Sku, Sz |
Площадь и объем |
Stp, SHtp, Smmr, Smvr, Smr, Sdc |
Функциональные |
Sk, Spk, Svk, Sr1, Sr2, Sbi, Sci, Svi, Sm, Vv, Vm, Vmp,Vmc, Vvc, Vvv |
Ровность |
FLt, FLTp, FLTs, FLTq, FLTv |
Гибридные и пространственные |
Sdq, Ssc, Sdr Spc, Sds, Str, Sal, Std, Sfd |
Анализ данных |
Высота ступеньки, расстояние по горизонтали, уголнаклона, размер угла, количество вершин, интерактивная кривая Эббота-Файрстоуна, объем островов, автокорелляция, фрактальный анализ, анализ рисунка, анализ частоты, исправление данных |
Фильтры |
Гауссов, надежный гауссов, сплайн, импульсный, надежный импульсный и морфологический |
Дополнительные модули |
Crown, Cross-crown & Twist, Laser Zone Texture, AdvancedProfile PSD, Advanced Data Stitching |
Система |
|
Тип измерения |
3-мерное бесконтактное (4 или 1 миллион точек данных) |
Режим измерения |
Когерентный корреляционный интерферометр |
Z-сканер |
Сканер высокой точности, с замкнутым циклом, без пьезоэлемента |
Поле обзора |
До 6,6?6,6 мм (в зависимости от объектива) |
Освещение |
Источник дневного света, светодиод |
Крепление объектива |
Трехпозиционная турель |
Массив измерений |
CCI HD 2048 x 2048 CCI Lite 1024х1024 |
Анализ |
Программное обеспечение |
программа анализа Talymap |
|
более 120 2-мерных и 40 3-мерных параметров |
|
Автоматический подсчет и сортировка функций |
|
Поддержка двух мониторов |
|
Основные характеристики |
|
Вертикальный диапазон (Z) |
2,2 мм (>50 мм с Z-«сшивкой») |
Вертикальное разрешение [макс] |
0,01 нм [0,1 A] |
Уровень шума (Z) |
CCI HD<0,02 нм [0,2 A]CCI Lite <0,08нм [0,8 A]* |
Повторяемость RMS (Z) |
<0,02 нм [0,2 A]** |
Макс. область измерения (X,Y) |
6,6 мм (>100 мм c X,Y «сшивкой») |
Количество точек измерения |
CCI HD 2048?2048 CCI Lite 1024?1024 |
Оптическое разрешение (X,Y) |
0,3-0,6 мкм (со 100-кратным объективом) |
Повторяемость высоты ступеньки |
<0.1% |
Отражающая способность поверхности |
<0.3% - 100% |
Рабочий стол |
|
Размер компонента (макс) |
X и Y = 150 мм; Z = 100 мм |
Вес компонента (макс) |
10 кг |
Стол X-Y моторизованный (средний) |
112 ? 75 мм |
Стол X-Y моторизованный (большой) |
150 ? 150 мм |
Стол наклоняемый ручной |
± 4 градуса |
Размеры системы |
|
Полный размер системы (площадь основания) |
530 мм в ширину; 530 мм в глубину; 850 мм в высоту |
Температура (хранение) |
10 – 50°C |
Температура (эксплуатация) |
15 – 30°C |
Изменение температуры |
< 1°C / час (для оптимизации измерения) |
Влажность |
< 70 % без конденсации |
Вибрация |
Защита от вибрации в стандартной комплектации |
*По результатам нескольких измерений на образцовой пластинке из кварца |
|
**Согласно стандартному отклонению на 1 сигма в 20 Sq (RMS) измерениях на пластине SiC |
|